為提升國家在晶片這一戰略性高技術產業的核心競爭力,各城市、地方紛紛推出招商引資政策,引進優秀半導體相關企業,並提供強而有力的扶持政策。 如此一來,國內半導體產業必將迎來長足發展。 經過深入的研發實驗,開發了適合管理半導體晶圓的RFID放大器單元,為國內半導體企業提供了穩定、可靠、高性價比的RFID識別解決方案。 同時豐富了國內半導體產業的RFID應用場景,如RFID整合CID載體讀寫器,實現了晶圓盒儲存櫃精準資訊擷取和一對一櫃檯管理的需求。 具體實施方法如下:
RFID載體閱讀器部署在儲存櫃的每個支撐板下方。 當晶圓盒放入儲存櫃的對準柱中時,紅外線觸發RFID載體閱讀器進入辨識狀態,立即辨識晶圓盒。 CID載具,系統可以判斷晶圓盒是否放置正確,判斷晶圓盒是否在櫃內等。結合儲存櫃的溫度、濕度、氧、氮感測器,實現儲存櫃的環境管理和檯面管理。可實現晶圓盒的資訊化管理。
廣州某光掩模公司的晶圓盒存放櫃採用了RFID讀寫器。 現場安裝示意圖如下:
相關設備
V610
V610半導體RFID讀寫器體積小、重量輕、安裝靈活。 支援134.2kHz工作頻率,採用HDX半雙工資料傳輸模式,支援標準Modbus RTU協議,內部整合式射頻通訊協定。 它易於使用和操作,無需了解複雜的射頻通訊協定。
V640
V640是一款專為半導體製造業開發的半導體RFID讀寫器。 採用HDX半雙工資料傳輸模式,支援SECS協定和Modbus RTU協議,符合世界SEMI標準,相容TI生產的CID載波,具有優異的讀寫可靠性。 具有良好的性能和耐環境能力,支援外部光電開關IO訊號觸發讀卡。
實現效益
1.避免人為因素造成的放置高度和數量限制,更精準地利用空間;
2.避免人工出錯、耗時等問題;
3、所有物料流向均可追蹤;
4.追蹤晶圓晶片的存取狀態;
5.減少污染,保持晶圓清潔;
6.提高半導體產業自動化管理水準。
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